SJT 31090-1994 6-CTVH-B切割机完好要求和检查评定方法
|
ID： |
8A6D17A6C2634AB19600DC61B142ED30 |
|
文件大小(MB)： |
0.26 |
|
页数： |
2 |
|
文件格式： |
|
|
日期： |
2024-7-28 |
|
购买： |
文本摘录（文本识别可能有误，但文件阅览显示及打印正常，pdf文件可进行文字搜索定位）：
中华人民共和国电子行业标准,S.J/T 31090 94,6 CTVH-B型切割机完好要求和检查评定方法,主题内容与适用范围,本标准规定了 6—CTVH—B型切割机的完好要求和检查、评定方法,本标准适用于半导体集成电路生产用切割机,2完好要求,2.1 主要技术指标,2.1.1 几何精度,6—CTVH—B型切割机主要几何精度完好要求和检测方法,见下表所列,检测项目完好要求检测方法及器具 I 图 示,主轴轴向窜动02mm,将指示器固定在工作台面上,I,使其测头触及砂轮轴端面中心,孔内钢球表面。旋转砂轮主轴进。不ー,行检测,误差以指示器读数的最大差,值计。 I,件,2-1-2主要性能要求;,a.被加工件端面与轴向垂直度: <0. lmm?,b.主轴上、下移动范围; 290mm,c.工作台行程范围: 270mm,d.工作台倾斜度: -3。.+ 5,e-旋转盘旋转角度: 360°;最小刻度0.1°,f-主轴转速： 1.250r/min,2-2操作系统,2- 2.1各操作变速手柄、开关、按钮启动灵活,定位可靠、标志齐全,2. 2-2制动、限位装置齐全,灵敏可靠,2.3传动系统,2- 3-1伺服工作台机械传动平稳可靠,2- 3-2机械传动精度符合要求,2.4 润滑系统,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01 实施,SJ/T 31090-94,下载,2.4.1 润滑装置完整无损,管路齐全,油路畅通,2.4.2 油眼、油嘴不得有缺、损、堵现象,2.4.3 油位标志醒目,油窗明亮,注入润滑油清洁、到位,2.4-4 基本无漏油,每ー漏油点3min内不超过一滴,2.5 液压系统,2- 5.1液压系统的运动件在各种速度范围内,不应发生振动,不应有异常噪声和显著的冲击,不应有停滞和爬行现象,2. 5-2液压泵压カ不得小于2.45X106Pa,2 - 5-3液压系统各元件动作灵敏、可靠,2 . 5. 4对エ件压紧カ不得小于117.6N,2 .5.5主轴上、下移动不应有步进、振动现象,2 .5.6压力表指示准确,误差在允许范围内,且有有效期检验合格证,2.6电气系统,2. 6-1电气线路整齐、清洁,各触点保持良好,按钮开关、指示灯齐全、完整,指示正确可靠,2. 6.2机器上的电器保护装置必须齐全可靠,整定值符合要求,2. 6-3电动机运行平稳,轴承无显著噪音,温升在额定范围以下,2.7冷却系统,2- 7-1冷却器具齐全,2.7.2冷却装置安装良好,工作状态良好,2- 7-3冷却液不得渗入电气箱内和皮带上,2.8 安全防护,2 . 8-1设备保护盖板、挡屑板齐全,完整无损,牢固可靠,2 .8.2自动保护触点开关、报警齐全、可靠,安全接地,2.9 维护保养,按SJ/T 31002—94《设备维护保养通则》执行,3检査、评定方法,3.1检査方法,3- T-1主要技术指标的检测方法见表列,3.1.2对完好要求除2.1.1项外,采用现场主观方法进行检査,3-2评定方法,3.2.1本标准评定完好设备的主要项目为:2.1.1、2.1.2,其余均为次要项目,3.2-2主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项目有二项不符合要求,亦为不完好,设备,3.2-3完好设备的维护保养,应达到优等设备标准,附加说明:,本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出,本标准由中国华晶电子集团公司组织起草,本标准主要起草人:成峰、顾军建、吴正伟,2……
……